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等离子密封箱体

等离子密封箱体

  • 所属分类:半导体设备
  • 浏览次数:
  • 二维码:
  • 发布时间:2023-09-13 15:36:06
  • 产品概述

等离子体进样系统密封箱体操作注意事项

本设备需配合客户的排风系统方可工作。

步骤一、 启动排风风机,使得负压压差表上压力显示在 240-260 Pa


步骤二、 排风风机需持续排风 30 秒以上,方可触控“风机”按钮启动机器的送风风机

步骤三、 检查送风&排风风机是否正常工作:

1、查看压力表, 正常工作时的压力在 75-110pa 之间。


2、查看显示屏的 2 组数据:

A. 上面一组数据为下沉风速,正常范围:0.30-0.33;

B. 下面一组数据为排风风速,正常范围:0.46-0.66。


步骤四、操作过程中若机器有任何报警,需立刻停止操作,关闭机器总电源。

步骤五、当需要关闭机器时,必须先关闭送风风机,过 30 秒后再关闭排风风机(排风风机亦可常开)。


机器的报警与自我保护:

一、启动机器的同时,负压压差表开始工作,若 10 秒内没有启动排风风机,蜂鸣器将持续报警直至启动排风风机。

二、若人为误操作,在没有启动排风风机的情况下启动了机器的送风风机。系统立即声光报警,作区红灯亮,15 秒后送风风机将被系统自动关闭,以免造成溢出风险。

三、当操作过程中排风风机出现故障或动力变弱,机器提供双重保护:

1. 压差监控:当负压小于 50Pa, 即会有溢出风险,10 秒后蜂鸣器报警。

2. 变风量系统监控:几乎同时,机器内部变风量系统也会识别到排风风速不够,会自动停止送风风机,并有声光报警,此时工作区红灯亮,必须停止操作,关闭机器总电源。


产品细节图










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